Détecteur de NF3

  • Détection de fin de cycles de nettoyage de wafer.
Détecteur NF3
Détecteur NF3

Utilisation

Le détecteur de fin de cycle OPTI-Sense 5000 permet de détecter avec précision la fin d'un cycle de nettoyage de Wafer. Il s'agit d'un capteur compact qui donne une mesure quantitative. Le OPTI-Sense 5000 mesure par infrarouge la concentration du gaz résultant du fluor ou du chlore utilisé pour le nettoyage et détecte avec précision la fin du cycle de nettoyage.

L'OPTI-Sense 5000 est livré avec un logiciel adapté et simple à utiliser qui permet d'enregistrer et de visualiser graphiquement les données. En option, une station de mesure complète (PC avec logiciel configuré) peut être livrée avec le détecteur.

Avantages

  • Détecte le point de fin de cycle indépendamment du produit de nettoyage utilisé (Fluor, chlore, etc.).
  • L'optimisation du cycle réduit les rejets.
  • Minimise la consommation de NF3.
  • Augmente la durée de vie de la chambre de traitement.
  • Augmente la productivité en minimisant la dureté du traitement.
  • Assure la qualité du procédé de nettoyage.

Spécifications

  • Principe de mesure: absorption de rayonnement infrarouge non dispersif (NDIR)
  • Application: détection de fin de cycle de nettoyage ou d'attaque au fluor ou au chlore
  • Gamme de pression: 0.2 à 1400 Torr
  • Gamme de température: 4° à 45°C
  • Source infrarouge: émetteur pulsé à couche fine
  • Matériaux: résistants à la corrosion
  • Encombrement: 127 x 222 x 83 mm
  • Masse: environ 2 kg
  • Sortie analogique: 0-1 ou 0-4 ou 0-10 V
  • Sortie numérique: interface RS-232
  • Temps de réponse: inférieur à 2 secondes
  • Connections: KF16 - 304SS en standard, autres connections possible sur demande
  • Mise à zéro: possibilité de mise à zéro à distance
  • Signal de défault: niveau haut ou bas
  • Conception à semi-conducteur: pas de pièces en mouvement
  • Logiciel: intégré. L'appareil peut aussi être utilisé avec LabViewTM
Installation recommandée Dessin dimensionnel (en pouces) du détecteur

Détecteur NF3

Dessin dimensionnel

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